| 发明名称 | 使用微检查输入的微缺陷检测 | ||
| 摘要 | 用于检查的装置包括光学检查功能(28)，用于提供至少一个光学检查输出，该输出表示基底上重复单元的图案。实施分析功能(32)以接收至少一个光学检查输出并分离重复单元的预先选择的特征。在重复单元的分离的预先选择的特征上实施分析报告功能，用于提供至少一个分离的预先选择的特征的变化的输出(34)指示，该变化出现在重复单元的多个上。 | ||
| 申请公布号 | CN1839306A | 申请公布日期 | 2006.09.27 |
| 申请号 | CN200480012317.1 | 申请日期 | 2004.03.17 |
| 申请人 | 奥博泰克有限公司 | 发明人 | 茂山本;奥弗·萨菲尔;拉阿南·埃丁 |
| 分类号 | G01N21/00(2006.01);G06K9/46(2006.01) | 主分类号 | G01N21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 黄小临;王志森 |
| 主权项 | 1.一种用于检查的装置，包含：光学检查功能，用于提供至少一个光学检查输出，该输出表示基底上重复单元的图案；分析功能，被实施以接收该至少一个光学检查输出，并且分离重复单元的预先选择的特征；以及分析报告功能，在重复单元的分离的预先选择的特征上实施，用于提供至少一个分离的预先选择的特征的变化的输出指示，该变化出现在重复单元的多个上。 | ||
| 地址 | 以色列亚夫内 | ||