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发明名称 A SENSOR FOR MEASURING A SUBSTRATE TEMPERATURE
摘要
申请公布号 KR100630025(B1) 申请公布日期 2006.09.27
申请号 KR20017001621 申请日期 2001.02.06
申请人 发明人
分类号 G01J5/00 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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