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发明名称
CRYSTALLIZATION METHOD OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号
KR100628989(B1)
申请公布日期
2006.09.27
申请号
KR20040074344
申请日期
2004.09.17
申请人
发明人
分类号
H01L29/786
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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