| 发明名称 | 八氟环丁烷的纯化方法、其制备方法及其用途 | ||
| 摘要 | 本发明的纯化八氟环丁烷的方法的特征在于使含有杂质的粗八氟环丁烷与杂质分解剂在高温下接触，然后与吸附剂接触，以便从粗八氟环丁烷中基本上除去杂质。根据本发明的纯化或制备八氟环丁烷的方法，可以基本上除去杂质例如氟碳化合物，并容易地获得高纯度的八氟环丁烷。通过本发明的纯化方法获得的八氟环丁烷基本上不含杂质，所以可用作半导体设备等的生产工艺中的蚀刻或清洁气体。 | ||
| 申请公布号 | CN1276902C | 申请公布日期 | 2006.09.27 |
| 申请号 | CN02800081.1 | 申请日期 | 2002.01.11 |
| 申请人 | 昭和电工株式会社 | 发明人 | 堀场美奈子;铃木泰宏 |
| 分类号 | C07C17/395(2006.01);C07C17/389(2006.01);C07C17/269(2006.01);C07C23/06(2006.01);H01L21/3065(2006.01);C11D7/50(2006.01) | 主分类号 | C07C17/395(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 林柏楠;段承恩 |
| 主权项 | 1.一种纯化八氟环丁烷的方法，包括以下步骤：使含有杂质的粗八氟环丁烷与包含铁氧化物和碱土金属化合物的杂质分解剂在高温下接触，然后与吸附剂接触，以便从所述粗八氟环丁烷中基本上除去所述杂质。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||