发明名称
摘要
申请公布号 JP3827812(B2) 申请公布日期 2006.09.27
申请号 JP19970139193 申请日期 1997.05.15
申请人 发明人
分类号 G01N21/88;H01J9/14;H01J9/42 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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