电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台

摘要

电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包括工件台、基座、电磁驱动组件、平面导向组件和位置检测传感器组件。电磁驱动组件由若干电磁驱动元件构成，电磁驱动元件由互不接触的定子和动子组成；定子固定于基座上，且由若干永磁体和铁磁性材料制成的定子铁心组成，永磁体固定于定子铁心上，使得永磁体的磁化方向与工件台的运动平面垂直；动子中的方形线圈通过线圈骨架或连接构件与工件台固连，使得方形线圈存在两相对有效边与工件台的运动平面平行。

主权项

1.电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，包括工件台、基座、电磁驱动组件、平面导向组件和位置检测传感器组件，其特征在于：所述电磁驱动组件由若干电磁驱动元件构成，所述电磁驱动元件由定子和动子两部分组成，所述定子和动子不相互接触；所述定子固定于基座上，且由若干永磁体和铁磁性材料制成的定子铁心组成，所述永磁体固定于定子铁心上，使得永磁体的磁化方向与工件台的运动平面垂直；所述动子包含一个截面形状为方形的线圈，所述方形线圈通过线圈骨架或连接构件与工件台固连，使得所述方形线圈存在两相对有效边与工件台的运动平面平行。