| 发明名称 | 压电元件、液体喷射头及其制造方法,液体喷射设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件、该压电元件的制造方法、一种液体喷射头、该液体喷射头的制造方法和一种液体喷射设备。该压电元件的制造方法包括如下步骤：通过在下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半个小时到三个小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)＝1.0～1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。 | ||
| 申请公布号 | CN1838445A | 申请公布日期 | 2006.09.27 |
| 申请号 | CN200610065141.7 | 申请日期 | 2006.03.21 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 李欣山 |
| 分类号 | H01L41/24(2006.01);H01L41/09(2006.01);H01L41/187(2006.01);B41J2/14(2006.01);B41J2/045(2006.01) | 主分类号 | H01L41/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种制造压电元件的方法，包括如下步骤：在衬底上形成下电极；通过在所述下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半小时到三小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)＝1.0～1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||