一种基于动态稳定扫描技术的傅里叶光谱仪

摘要

本发明涉及光机电一体化方向微位移控制技术领域和光谱分析领域，目的在于克服现有技术中的缺点，提供一种可以大行程连续扫描，并且快速、稳定、高精度、高分辨率、高信噪比的傅立叶光谱仪。结构上包括：白光和激光光源；主要由麦克尔逊干涉仪构成的光学系统；用于探测微弱的光信号变化并将其转换成相应的电信号的反馈模块；用于将反馈模块处理后的模拟量转换成数字量的控制模块；用于根据控制模块处理结果控制麦克尔逊两臂的相位差调节的执行模块；和用于在相位差锁定的情况下，探测反馈模块和执行模块控制麦克尔逊干涉仪两臂相位差均匀变化的测量模块。

主权项

1.一种基于动态稳定扫描技术的傅里叶光谱仪，其特征是包括：白光光源(3)和激光光源(4)；主要由麦克尔逊干涉仪构成的光学系统，白光光源同激光光源共用一组麦克尔逊干涉仪；用于探测微弱的光信号变化并将其转换成相应的电信号的反馈模块(5)；用于将反馈模块处理后的模拟量转换成数字量的控制模块(6)；用于根据控制模块处理结果控制麦克尔逊两臂的相位差调节的执行模块(7)；和用于在相位差锁定的情况下，探测反馈模块和执行模块控制的麦克尔逊干涉仪两臂相位差均匀变化的测量模块(8)；所述的光学系统的麦克尔逊干涉仪的两臂均为移动臂，通过微移动器(1)控制微动臂(11)移动用于稳定相位，通过粗移动器控制粗动臂(21)移动和检偏镜(22)旋转用于调整相位，所述微移动器和粗移动器由执行模块控制。