发明名称 THIN FILM PIEZOELECTRIC ELEMENT
摘要
申请公布号 EP0973256(B1) 申请公布日期 2006.09.27
申请号 EP19980935355 申请日期 1998.08.04
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MISU, KOICHIRO;NAGATSUKA, TSUTOMU;WADAKA, SHUSOU
分类号 H03H9/17;H03H9/13;H03H9/56 主分类号 H03H9/17
代理机构 代理人
主权项
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