发明名称 DEPOSITION APPARATUS FOR CAUSE OF DEFECT DETECTION AND METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060102087(A) 申请公布日期 2006.09.27
申请号 KR20050023843 申请日期 2005.03.22
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 KIM, JONG YUN
分类号 H05B33/10 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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