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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION OF DIAMOND-LIKE CARBON COATINGS FROM A HALL-CURRENT ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP1157598(A4) 申请公布日期 2006.09.27
申请号 EP20000919266 申请日期 2000.02.02
申请人 MORGAN ADVANCED CERAMICS, INC. 发明人 MAHONEY, LEONARD, JOSEPH;BROWN, DAVID, WARD;PETRMICHL, RUDOLPH, HUGO
分类号 H05H1/24;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/48;C23C16/26;C23C16/40;C23C16/48;G11B5/84;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/265;H01L21/302;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/24;H01J7/24 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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