压力传感器装置和方法

摘要

在这里公开了一种压力传感器装置，所述装置一般包括传感器部件、紧密与所述传感器部件在所有压力级和温度处相接触的柔性传感器隔膜，和用于气密地密封所述传感器部件和所述柔性传感器隔膜在密封传感器封装件内以提供在其压力传感器数据的封装底座和封装盖子。所述传感器部件可被实施为石英感测部件以提供表面声波压力传感器。所述压力传感器可选择地基于其它传感技术，譬如硅压阻性、陶瓷电容性以及其它。

主权项

1.一种压力传感器装置，所述装置包括：传感器部件和紧密与所述传感器部件在所有压力级和温度处相接触的柔性传感器隔膜；和封装底座和封装盖子，用于将所述传感器部件和所述柔性传感器隔膜气密密封在气密密封传感器封装件内，以提供该传感器封装件的压力传感器数据，其中所述传感器部件和所述柔性传感器隔膜被预先组装在所述气密密封传感器封装件内。