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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR THE OPTICAL MEASUREMENT OF AN OPTICAL SYSTEM, MEASUREMENT STRUCTURE SUPPORT, AND MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
EP1704445(A2)
申请公布日期
2006.09.27
申请号
EP20050700815
申请日期
2005.01.12
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
WEGMANN, ULRICH
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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