| 发明名称 |
SYSTEM FOR SUPPLY OF MULTIPLE CHEMICALS TO A PROCESS TOOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100628856(B1) |
申请公布日期 |
2006.09.27 |
| 申请号 |
KR20007015097 |
申请日期 |
2000.12.30 |
| 申请人 |
ADCS LTD |
发明人 |
NOAH CRAIG M;GREGG JOHN N |
| 分类号 |
B01J4/00;B67D7/02;B67D7/84;C23C16/448;F17C7/00;F17C13/04 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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