| 发明名称 | 用于溅射系统的控制系统 | ||
| 摘要 | 一种故障处理算法在时间周期内处理来自溅射系统的多个故障状况信号以产生至少一个用于影响功率发生器工作的命令信号。 | ||
| 申请公布号 | CN1839214A | 申请公布日期 | 2006.09.27 |
| 申请号 | CN200480023743.5 | 申请日期 | 2004.08.18 |
| 申请人 | MKS仪器股份有限公司 | 发明人 | M·D·特雷西;J·N·克莱因 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);C23C14/54(2006.01);H01J37/34(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 钱慰民 |
| 主权项 | 1、一种用于控制功率发生器的方法，包括：在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号；用故障处理算法处理所述多个故障状况信号；以及产生至少一个影响功率发生器的工作特性的命令信号。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||