用于连续横向固化的掩模和采用它的结晶方法

摘要

一种用于形成多晶硅层的方法，包括：在非晶硅层上设置一掩模，所述的掩模具有多个透射区，多个透射区沿着第一方向和基本上与第一方向垂直的第二方向以阶梯排列的方式相互间隔设置，每一个透射区有一部分和第一侧部分与第二侧部分，第一侧部分和第二侧部分在第一方向上与部分的相对的两端相邻，其中每一部分在第一方向上有一长度而在第二方向上有一宽度，并且其中第一部分和第二部分的宽度沿着第一方向从部分开始向外减小；第一次通过掩模将一激光束照射到非晶硅层上，形成与多个透射区对应的多个第一照射区，每一个第一照射区有一部分以及在部分两侧的第一侧部分和第二侧部分；将衬底和掩模彼此相对移动，以使每一个透射区的第一侧部分与每一个第一照射区的部分重叠；通过掩模第二次将激光束照射到非晶硅层上，形成与多个透射区对应的多个第二照射区。

主权项

1.一种用于在一衬底上由一非晶硅层形成多晶硅层的方法，包括：在该非晶硅层上设置一掩模，该掩模具有多个透射区，所述的多个透射区沿着第一方向以阶梯排列的方式设置并且沿着基本上与第一方向垂直的第二方向相互间隔设置，每一个透射区具有一中央部分和第一侧部分与第二侧部分，第一侧部分和第二侧部分在第一方向上分别相邻于中央部分相对的两端，其中每一部分在第一方向上有一长度而在第二方向上有一宽度，并且其中第一部分和第二部分的宽度沿着第一方向从中央部分开始向外减小；第一次通过掩模将一激光束照射到非晶硅层上，形成与多个透射区对应的多个第一照射区，每一个第一照射区有一中央部分以及在中央部分两侧的第一侧部分和第二侧部分；将衬底和掩模彼此相对移动，以使每一个透射区的第一侧部分与每一个第一照射区的中央部分重叠；通过掩模第二次将激光束照射到非晶硅层上，形成与多个透射区对应的多个第二照射区。