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经营范围
发明名称
EQUIPMENTS FOR USE IN EXPOSURE FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
KR20060101605(A)
申请公布日期
2006.09.26
申请号
KR20050023088
申请日期
2005.03.21
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PARK, IN CHUN
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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