METHOD FOR FILLING TRENCH AND RELIEF GEOMETRIES IN SEMICONDUCTOR STRUCTURES,申请号KR20047019996-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR FILLING TRENCH AND RELIEF GEOMETRIES IN SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号	KR100628594(B1)	申请公布日期	2006.09.26
申请号	KR20047019996	申请日期	2003.06.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/76;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/334;H01L21/4763;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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