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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20060101591(A)
申请公布日期
2006.09.26
申请号
KR20050023058
申请日期
2005.03.21
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
JEON, JOON HEE
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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