发明名称 INDUCTION COUPLING TYPE PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100627785(B1) 申请公布日期 2006.09.25
申请号 KR20040004016 申请日期 2004.01.19
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;B01J19/08;G02F1/13;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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