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发明名称 Stabilization of Peroxygen-containing Slurries Used in Chemical Mechanical Planarization
摘要
申请公布号 KR100626768(B1) 申请公布日期 2006.09.25
申请号 KR19990052013 申请日期 1999.11.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/302;H01L21/321 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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