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发明名称
ANALYSING SYSTEM AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060101263(A)
申请公布日期
2006.09.22
申请号
KR20060022889
申请日期
2006.03.11
申请人
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH
发明人
FROSIEN JUERGEN;LANIO STEFAN
分类号
H01J37/244
主分类号
H01J37/244
代理机构
代理人
主权项
地址
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