发明名称 ANALYSING SYSTEM AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060101263(A) 申请公布日期 2006.09.22
申请号 KR20060022889 申请日期 2006.03.11
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN JUERGEN;LANIO STEFAN
分类号 H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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