发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 KR20060101296(A) 申请公布日期 2006.09.22
申请号 KR20060024106 申请日期 2006.03.15
申请人 MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. 发明人 ONO NAOKI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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