| 主权项 |
1.一种架构有洗边装置之显影机台,包括: 一显影槽,容纳有显影液; 一输送带,设置于该显影槽之中,用以传送玻璃基 板浸入显影液中,以对该玻璃基板表面之光阻层进 行显影; 一洗边滚轮,设置于该输送带之侧边,并且以接触 方式剥除该玻璃基板上表面边缘处之光阻层;以及 一弹力构件,用以控制该洗边滚轮施加于该光阻层 之压力。 2.如申请专利范围第1项之显影机台,更包括一转速 控制装置,用以控制该洗边滚轮之转速与转向。 3.如申请专利范围第1项之显影机台,更包括一高度 控制装置,用以控制该洗边滚轮之垂直位置。 4.如申请专利范围第1项之显影机台,其中该高度控 制装置系利用螺杆控制该洗边滚轮之垂直位置。 5.如申请专利范围第1项之显影机台,更包括一洗边 宽度控制装置,用以控制该洗边滚轮剥除该光阻层 之宽度。 6.如申请专利范围第1项之显影机台,其中该洗边宽 度控制装置系利用螺杆控制该洗边滚轮剥除该光 阻层之宽度。 7.如申请专利范围第1项之显影机台,更包括一马达 透过一传动带连接至该洗边滚轮,以驱动该洗边滚 轮转动。 8.如申请专利范围第1项之显影机台,该洗边滚轮之 旋转方向与该输送带之输送方向系相反。 9.如申请专利范围第1项之显影机台,该洗边滚轮系 以海绵为材质。 10.一种洗边装置,系架构于显影机台上,包括: 一输送带,用以传送玻璃基板浸入显影液中; 二洗边滚轮,设置于该输送带之两侧,具有与该输 送带输送方向相反之旋转方向,以剥除该玻璃基板 上表面边缘处之光阻层;以及 一弹力构件,用以控制该洗边滚轮施加于该光阻层 之压力。 11.如申请专利范围第10项之洗边装置,更包括一转 速控制装置,用以控制该二洗边滚轮之转速与转向 。 12.如申请专利范围第10项之洗边装置,更包括一高 度控制装置,用以控制该洗边滚轮之垂直位置。 13.如申请专利范围第10项之洗边装置,其中该高度 控制装置系利用螺杆控制该洗边滚轮之垂直位置 。 14.如申请专利范围第10项之洗边装置,更包括一洗 边宽度控制装置,用以控制该洗边滚轮剥除该光阻 层之宽度。 15.如申请专利范围第10项之洗边装置,其中该洗边 宽度控制装置系利用螺杆控制该洗边滚轮剥除该 光阻层之宽度。 16.如申请专利范围第10项之洗边装置,更包括一马 达透过传动带连接至该些洗边滚轮,以驱动该些洗 边滚轮转动。 17.如申请专利范围第10项之洗边装置,其中该洗边 滚轮系以海绵为材质。 图式简单说明: 第一图系一典型光阻涂布制程之示意图。 第二A与B图系在旋涂光阻溶液之步骤中,因光阻溶 液表面张力,导致位于玻璃基板边缘之光阻溶液产 生突起。 第三图系一典型搭配光阻涂布制程之洗边制程的 示意图。 第四图系一典型显影机台之示意图。 第五A与B图系本发明架构于显影机台之洗边装置, 一较佳实施例之示意图。 第六图系本发明洗边装置之洗边滚轮,利用接触方 式剥除光阻层之示意图。 第七图系本发明高度控制装置一较佳实施例之示 意图。 第八图系本发明弹力构件一较佳实施例之示意图 。 第九图系本发明洗边宽度控制装置一较佳实施例 之示意图。 |
