| 主权项 |
1.一种配送系统,包括: 复数个机台群组区块,其中每一该些机台群组区块 设置有一区块控制器与复数个载具; 一派工模拟系统,用以取得对应该些机台群组区块 之复数个派工参数; 一资料库,用以储存该些派工参数;以及 一主控制器,用以自该资料库取得该些派工参数, 并据以计算出每一该些机台群组区块之目前一载 具配置数与一载具派工数,根据该载具派工数决定 出至少一目的机台群组区块与至少一来源机台群 组区块,对该目的与该来源机台群组区块的该些载 具派工数执行一数学运算,并且根据运算结果今每 一该些区块控制器执行相对应的载具派工操作。 2.如申请专利范围第1项所述的配送系统,其中,该 些派工参数包括每一该些机台群组区块的一需求 产能与一评估产能,且该派工模拟系统根据该需求 产能与评估产能计算出每一该些机台群组区块的 安全系数、所需之载具的最适数量、以及在制品 的平均运送时间。 3.如申请专利范围第2项所述的配送系统,其中,该 主控制器将该载具派工数大于零之该机台群组区 块定义为该来源机台群组区块,计算每一该些来源 机台群组区块之一连接关系权値与一连接距离权 値并且据以计算每一该些来源机台群组区块的权 値,比对所有该来源机台群组区块的权値,并且根 据比对结果决定出一可优先进行派工的来源机台 群组区块。 4.如申请专利范围第3项所述的配送系统,其中,若 根据该比对结果无法决定出该可优先进行派工的 来源机台群组区块,则该主控制器计算每一该来源 机台群组区块之一安全系数,根据该安全系数与该 权値计算取得每一该些来源机台群组区块之一新 的权値,比对所有该来源机台群组区块的新权値, 并且根据比对结果决定出该可优先进行派工的来 源机台群组区块。 5.如申请专利范围第1项所述的配送系统,其中,该 主控制器根据该运算结果,令设置于该来源机台群 组区块之该区块控制器分派该目的机台群组区块 所需求之载具数量至该目的机台群组区块。 6.如申请专利范围第1项所述的配送系统,其中,该 主控制器根据该运算结果,令设置于该来源机台群 组区块之该区块控制器分派其所有之闲置载具至 该目的机台群组区块。 7.如申请专利范围第1项所述的配送系统,其中,该 主控制器根据该些派工参数估算出每一该些机台 群组区块所需之长期载具配置数、载具使用数、 以及载具闲置数。 8.如申请专利范围第1项所述的配送系统,其中,每 一该些区块控制器系用以对其对应之该机台群组 区块执行在制品产量的监控与该载具的分派。 9.一种制造系统,其包括用以执行在制品载具分派 之一配送系统,该配送系统包括: 复数机台群组区块,其中每一该些机台群组区块设 置有一区块控制器与复数载具; 一派工模拟系统,用以取得对应该些机台群组区块 之复数派工参数; 一资料库,用以储存该些派工参数;以及 一主控制器,用以自该资料库取得该些派工参数, 并据以计算出每一该些机台群组区块之目前一载 具配置数与一载具派工数,根据该载具派工数决定 出至少一目的机台群组区块与至少一来源机台群 组区块,对该目的与该来源机台群组区块的该些载 具派工数执行一数学运算,并且根据运算结果令每 一该些区块控制器执行相对应的载具派工操作。 10.如申请专利范围第9项所述的制造系统,其中,该 些派工参数包括每一该些机台群组区块的一需求 产能与一评估产能,且该派工模拟系统根据该需求 产能与评估产能计算出每一该些机台群组区块的 安全系数、所需之载具的最适数量、以及在制品 的平均运送时间。 11.如申请专利范围第10项所述的制造系统,其中,该 主控制器将该载具派工数大于零之该机台群组区 块定义为该来源机台群组区块,计算每一该些来源 机台群组区块之一连接关系权値与一连接距离权 値并且据以计算每一该些来源机台群组区块的权 値,比对所有该来源机台群组区块的权値,并且根 据比对结果决定出一可优先进行派工的来源机台 群组区块。 12.如申请专利范围第11项所述的制造系统,其中,若 根据该操作无法决定出该可优先进行派工的来源 机台群组区块,则该主控制器计算每一该来源机台 群组区块之一安全系数,根据该安全系数与该权値 计算取得每一该些来源机台群组区块之一新的权 値,比对所有该来源机台群组区块的新权値,并且 根据比对结果决定出该可优先进行派工的来源机 台群组区块。 13.如申请专利范围第9项所述的制造系统,其中,该 主控制器根据该运算结果,令设置于该来源机台群 组区块之该区块控制器分派该目的机台群组区块 所需求之载具数量至该目的机台群组区块。 14.一种配送方法,其适用于一半导体制造系统中在 制品的配送系统,该配送系统包括复数个机台群组 区块,该方法包括: 取得对应该些机台群组区块之复数个派工参数; 将该些派工参数储存于一资料库中; 自该资料库取得该些派工参数,并据以计算出每一 该些机台群组区块之目前一载具配置数与一载具 派工数; 根据该载具派工数决定出至少一目的机台群组区 块与至少一来源机台群组区块; 对该目的与该来源机台群组区块的载具派工数执 行一数学运算,并且根据运算结果执行相对应的载 具派工操作。 15.如申请专利范围第14项所述的配送方法,其中,该 派工参数包括每一该些机台群组区块的一需求产 能与一评估产能。 16.如申请专利范围第15项所述的配送方法,取得该 载具配置数与载具派工数之步骤更包括下列步骤: 根据每一该些机台群组区块之该需求产能与评估 产能估算出每一该些机台群组区块所需之长期载 具配置数、载具使用数、以及载具闲置数;以及 根据该长期载具配置数、载具使用数、与载具闲 置数计算出该载具配置数与载具派工数。 17.如申请专利范围第15项所述的配送方法,其中,取 得该些派工参数之步骤更包括根据该需求产能与 评估产能计算出每一该些机台群组区块的安全系 数、所需之载具的最适数量、以及在制品的平均 运送时间。 18.如申请专利范围第17项所述的配送方法,其中,决 定出该来源与该目的机台群组区块之步骤更包括: 将该载具派工数大于零之该机台群组区块定义为 该来源机台群组区块; 计算每一该些来源机台群组区块之一连接关系权 値与一连接距离权値; 根据该连接关系权値与连接距离权値计算每一该 些来源机台群组区块的权値; 比对所有该来源机台群组区块的权値;以及 根据比对结果决定出一可优先进行派工的来源机 台群组区块。 19.如申请专利范围第18项所述的配送方法,其中,决 定出该来源与目的机台群组区块之步骤更包括: 若根据该操作无法决定出该可优先进行派工的来 源机台群组区块,则计算每一该些来源机台群组区 块之一安全系数; 根据该安全系数与该权値计算取得每一该些来源 机台群组区块之一新的权値; 比对所有该来源机台群组区块的新权値;以及 根据比对结果决定出该可优先进行派工的来源机 台群组区块。 20.如申请专利范围第14项所述的配送方法,其中,执 行该载具派工操作之步骤更包括根据该运算结果 分派该目的机台群组区块所需求之载具数量至该 目的机台群组区块。 21.如申请专利范围第14项所述的配送方法,其中,执 行该载具派工操作之步骤更包括根据该运算结果 分派其所有之闲置载具至该目的机台群组区块。 22.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,该电脑程 式包括复数程式码,其用以载入至一电脑系统中并 且使得该电脑系统执行一种配送方法,其适用于一 半导体制造系统中在制品的配送系统,该配送方法 包括: 取得对应该些机台群组区块之复数个派工参数; 将该些派工参数储存于一资料库中; 自该资料库取得该些派工参数,并据以计算出每一 该些机台群组区块之目前一载具配置数与一载具 派工数; 根据该载具派工数决定出至少一目的机台群组区 块与至少一来源机台群组区块; 对该目的与来源机台群组区块的载具派工数执行 一数学运算,并且根据运算结果执行相对应的载具 派工操作。 23.如申请专利范围第22项所述的储存媒体,其中,该 派工参数包括每一该些机台群组区块的一需求产 能与一评估产能。 24.如申请专利范围第23项所述的储存媒体,取得该 载具配置数与载具派工数之步骤更包括下列步骤: 根据每一该些机台群组区块之该需求产能与评估 产能估算出每一该些机台群组区块所需之长期载 具配置数、载具使用数、以及载具闲置数;以及 根据该长期载具配置数、载具使用数、与载具闲 置数计算出该载具配置数与载具派工数。 25.如申请专利范围第23项所述的储存媒体,其中,取 得该派工参数之步骤更包括根据该需求产能与评 估产能计算出每一该机台群组区块的安全系数、 所需之载具的最适数量、以及在制品的平均运送 时间。 26.如申请专利范围第24项所述的储存媒体,其中,决 定出该来源与目的机台群组区块之步骤更包括: 将该载具派工数大于零之该机台群组区块定义为 该来源机台群组区块; 计算每一该些来源机台群组区块之一连接关系权 値与一连接距离权値; 根据该连接关系权値与连接距离权値计算每一该 些来源机台群组区块的权値; 比对所有该来源机台群组区块的权値;以及 根据比对结果决定出一可优先进行派工的来源机 台群组区块。 27.如申请专利范围第25项所述的储存媒体,其中,决 定出该来源与目的机台群组区块之步骤更包括: 若根据该操作无法决定出该可优先进行派工的来 源机台群组区块,则计算每一该些来源机台群组区 块之一安全系数; 根据该安全系数与该权値计算取得每一该些来源 机台群组区块之一新的权値; 比对所有该来源机台群组区块的新权値;以及 根据比对结果决定出该可优先进行派工的来源机 台群组区块。 28.如申请专利范围第22项所述的储存媒体,其中,执 行该载具派工操作之步骤更包括根据该运算结果 分派该目的机台群组区块所需求之载具数量至该 目的机台群组区块。 29.如申请专利范围第22项所述的储存媒体,其中,执 行该载具派工操作之步骤更包括根据该运算结果 分派其所有之闲置载具至该目的机台群组区块。 图式简单说明: 第1图显示传统制造系统中物料配送系统之示意图 。 第2图显示另一传统制造系统中物料配送系统之示 意图。 第3图系显示本发明实施例之机台群组区块的示意 图。 第4图系显示本发明实施例之配送系统的架构示意 图。 第5A图系显示本发明实施例之每一机台群组区块 在「前一制程状态」之派工参数値。 第5B图系显示本发明实施例之每一机台群组区块 在「目前制程状态」之派工参数値。 第6A图系显示本发明实施例之每一区块节点与其 它区块节点之连接关系权値的示意图。 第6B图系显示本发明实施例之每一区块节点与其 它区块节点之连接距离权値的示意图。 第7图系显示本发明之用于配送半导体制造系统中 在制品之配送方法的步骤流程图。 |
