| 主权项 |
1.一种机械手臂总成,其包括: 一轮毂; 连接至该轮毂的一第一手臂部份;以及 连接至该第一手臂部份的一第二手臂部份,使得该 第二手臂部份可至少部份地烧着其纵轴转动。 2.如申请专利范围第1项的机械手臂总成,其另包括 枢接至该第二手臂部份的一第三手臂。 3.如申请专利范围第2项的机械手臂总成,其另包括 一端效应器,且其中该第三手臂部份连接至该端效 应器。 4.如申请专利范围第3项的机械手臂总成,其另包括 : 连接至该轮毂的一第四手臂部份;以及 连接至该第四手臂部份的一第五手臂部份,使得该 第五手臂部份可至少部份地绕着其纵轴转动。 5.如申请专利范围第4项的机械手臂总成,其另包括 枢接至该第五手臂部份的一第六手臂部份,且其中 该第六手臂部份亦连接至该端效应器。 6.如申请专利范围第5项的机械手臂总成,其中该第 三及第六手臂部份连接至该端效应器的相对侧边 。 7.如申请专利范围第1项的机械手臂总成,其中该第 三手臂部份以一手腕总成连接至一端效应器。 8.如申请专利范围第1项的机械手臂总成,其中该第 二手臂部份藉由一栓可转动地连接至该第一手臂 部份。 9.如申请专利范围第1项的机械手臂总成,其中该机 械手臂总成具有一青蛙腿的设计。 10.如申请专利范围第1项的机械手臂总成,其另包 括: 连接至该轮毂的一第四手臂部份;以及 连接至该第四手臂部份的一第五手臂部份,使得该 第五手臂部份可至少部份地绕着其纵轴转动。 11.一种机械手臂总成,其包括: 一轮毂; 连接至该轮毂的一下手臂; 枢接至该下手臂的一上手臂;以及 连接至该前手臂的一端效应器; 其中该下手臂包括可转动地连接至一第二部份的 一第一部份。 12.如申请专利范围第11项的机械手臂总成,其中该 第一部份以一栓可转动地连接至该第二部份。 13.一种机械手臂总成,其包括: 一轮毂; 连接至该轮毂的一第一手臂部份;以及 连接至该第一手臂部份的一第二手臂部份,使得该 第二手臂部份可相对于该第一手臂部份移动,以释 放在手臂上的张力。 图式简单说明: 第1图为备有一机械晶圆处理系统的一群组工具的 图式; 第2图显示第1图中的机械人之手臂总成,并显示该 手臂总成在缩回及延伸位置; 第3图显示第1图中的机器人之手腕总成; 第4图显示一习知机械手臂总成,并显示其缩回及 延伸位置;以及 第5图显示依据本发明之教示而制成的一机械手臂 的一实施例。 |
