发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum gerichteten Aufbringen von Depositionsmaterial auf ein Substrat |
摘要 |
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申请公布号 |
DE50207784(D1) |
申请公布日期 |
2006.09.21 |
申请号 |
DE20025007784 |
申请日期 |
2002.03.19 |
申请人 |
SCHEUTEN GLASGROEP |
发明人 |
KAAS, PATRICK;GEYER, VOLKER |
分类号 |
C23C14/04;C23C14/34;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/56;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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