摘要 |
Es wird von einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Glaskörpers ausgegangen, umfassend die Bildung eines zylindrischen Rohlings durch sukzessives Abscheiden einer Vielzahl von Materialschichten auf der Mantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Substratkörpers unter Einsatz einer Anordnung mehrerer, auf den Substratkörper gerichteter Abscheider, denen über Zufuhrleitungen Prozessmedien für die Materialschichten-Abscheidung zugeführt werden und die ohne reversierende Bewegung relativ zur Substratkörper-Längsachse bewegt werden. Um hiervon ausgehend ein Verfahren zur Herstellung eines Glaskörpers hoher Homogenität anzugeben, das konstruktiv einfach umzusetzen ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Bewegung der Abscheider-Anordnung entlang der Substratkörper-Längsachse mit einer translatorischen Verschiebung des Substratkörpers einhergeht. Eine zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung zeichnet sich aus durch eine Verschiebeeinrichtung für eine translatorische Verschiebung des Sootkörpers, die mit der Bewegung der Abscheider-Anordnung entlang der Substratkörper-Längsachse einhergeht.
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