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发明名称
APPARATUS FOR PREVENTING FLOWING BACKWARD OF PROCESS GAS IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060100544(A)
申请公布日期
2006.09.21
申请号
KR20050022134
申请日期
2005.03.17
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, JAE HUN
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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