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发明名称 Falle
摘要
申请公布号 DE60029856(D1) 申请公布日期 2006.09.21
申请号 DE20006029856 申请日期 2000.02.25
申请人 EBARA CORP. 发明人 HORIE, KUNIAKI;ABE, MASAHITO;NAKADA, TSTOMU;ARAKI, YUJI
分类号 C23C16/44;F04B37/16;B01D8/00;B01D47/00;B01D47/02;B01D47/06;C23C16/00;H01L21/02;H01L21/20 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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