发明名称 PROBE UNIT FOR TEST
摘要
申请公布号 KR20060100815(A) 申请公布日期 2006.09.21
申请号 KR20050022638 申请日期 2005.03.18
申请人 PARK, IN JAE;LEE, GEON BUM;KIM, HYUNG IK 发明人 PARK, IN JAE;KIM, HYUNG IK;LEE, GEON BUM
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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