发明名称 Integrierter Absolut- und Differenzdruck-Umsetzer
摘要
申请公布号 DE112004002274(T5) 申请公布日期 2006.09.21
申请号 DE20041102274 申请日期 2004.11.24
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 DOZORETZ, PAUL;GU, YOUFAN;HOLCOMB, GARRY;WENZEL, OLE
分类号 G01L27/00;G01L13/00 主分类号 G01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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