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发明名称 COMPOSITE SPUTTER TARGET AND PHOSPHOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 EP1573084(B1) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 EP20030767324 申请日期 2003.12.04
申请人 IFIRE TECHNOLOGY CORP. 发明人 KOSYACHKOV, ALEXANDER
分类号 C23C14/00;C09K11/77;C09K11/80;C09K11/84;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/54;H05B33/14 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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