| 发明名称 |
Ferroelectric film, ferroelectric memory, and piezoelectric element |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1557481(A3) |
申请公布日期 |
2006.09.20 |
| 申请号 |
EP20050001099 |
申请日期 |
2005.01.20 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
KIJIMA, TAKESHI;MIYAZAWA, HIROMU;HAMADA, YASUAKI |
| 分类号 |
B41J2/045;C23C18/12;B41J2/055;C04B35/49;C04B35/491;C04B35/493;H01B3/12;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L41/04;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/187 |
主分类号 |
B41J2/045 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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