| 发明名称 |
Method for cleaning polishing surface of polisher |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1147856(B1) |
申请公布日期 |
2006.09.20 |
| 申请号 |
EP20010104388 |
申请日期 |
2001.02.23 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
INOUE, TATSUO;KOMATSU, MITSUNORI |
| 分类号 |
B24B55/06;B24B57/02;B24B53/007;B24B53/017;B24B55/02;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
B24B55/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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