喷墨沉积装置和方法

摘要

本发明提供一种用于在柔性基体上沉积可溶物质的方法和装置。该装置包括：一鼓，该鼓围绕其纵向轴线是可旋转的；一设置于鼓上方的喷墨打印头，其适于沿着基本平行于鼓纵向轴线的方向相对于鼓移动。一基体通过真空装置被安装在鼓上，所选物质的溶液微滴行通过打印头而被沉积，当鼓旋转时该打印头保持固定。然后，在随后的行沉积之前，打印头沿着基本平行于鼓纵向轴线的方向相对于鼓移动。这样，就可将电子器件形成于基体上，并可制造大尺寸的柔性显示器件。

主权项

1.一种制造光学、光电、电子或传感器器件的方法，该方法包括：将一具有去湿区域的基体安装在一鼓上，从而使基体绕鼓卷绕；形成由所述去湿区域分开的多个薄膜，所述形成薄膜包括将液微滴朝向基体排出；在进行排出所述微滴的至少一部分期间旋转所述鼓。