发明名称 Lithographic device
摘要
申请公布号 EP0957402(B1) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 EP19990303722 申请日期 1999.05.12
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN;WERIJ, HENRI GERARD CATO;VAN ZUYLEN, PETER
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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