发明名称 CVD REACTOR AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 KR100626474(B1) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 KR19997009614 申请日期 1999.10.18
申请人 发明人
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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