细缝式涂布装置

摘要

本发明公开了一种细缝式涂布装置，其适用于涂布均匀膜层于基材上。此细缝式涂布装置包含基座、细缝式涂布喷嘴及垫片。细缝式涂布喷嘴位于基座上方。当涂布制程开始执行时，将垫片紧靠基材的两侧，并使细缝式涂布喷嘴将开始与结束的不均匀膜层分别涂布于两垫片，而使均匀的膜层涂布于基材上。

主权项

1.一种细缝式涂布装置，其特征是：该涂布装置至少包含：一基座，承载一基材；一细缝式涂布喷嘴，位于基座上方；以及两垫片，紧邻于该基材两侧，并使该细缝式涂布喷嘴开始与结束时涂布的不均匀膜层分别涂布于该两垫片上，而使均匀的膜层涂布于该基材。