| 发明名称 |
基板清洗装置 |
| 摘要 |
本实用新型公开一基板清洗装置，其包括一用于承载基板的工作台和一支架，其中，该支架上设置有一用气体移除残留液体的气体喷嘴和一用液体清洗基板的液体喷嘴。该装置可快速且安全地排除位于基板表面的残留液体。 |
| 申请公布号 |
CN2817997Y |
申请公布日期 |
2006.09.20 |
| 申请号 |
CN200520061163.7 |
申请日期 |
2005.07.02 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
许文诚;王敬龙;詹育颖;曾增魁 |
| 分类号 |
B08B7/04(2006.01);B08B5/02(2006.01);B08B3/02(2006.01) |
主分类号 |
B08B7/04(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一基板清洗装置，其包括一用于承载基板的工作台和一支架，其特征在于：该支架上设置有一用气体移除残留液体的气体喷嘴和一用液体清洗基板的液体喷嘴。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
