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经营范围
发明名称
WAFER BACK SIDE DETECTING CHUCK STRUCTURE IN SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR20060100116(A)
申请公布日期
2006.09.20
申请号
KR20050021781
申请日期
2005.03.16
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SHIN, GILL HOON
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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