| 发明名称 | 芯片保持器以及芯片处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明能够提高对保持在芯片保持器上的芯片所进行的洗净处理的效率。芯片保持器(10)包括保持器下板(1)和保持器上板(2)构成。在保持器下板(1)上设置有由第1圆锥孔(12)和第2圆锥孔(13)构成的第1通孔。在保持器上板(2)上设置有由第3圆锥孔(22)和第4圆锥孔(23)构成的第2通孔。在由设置在保持器下板(1)上的第1圆锥孔(12)和设置在保持器上板(2)上的第3圆锥孔(22)构成的芯片保持空间(121)上，将作为被处理物的芯片(4)保持为可动状态。 | ||
| 申请公布号 | CN1835204A | 申请公布日期 | 2006.09.20 |
| 申请号 | CN200610064830.6 | 申请日期 | 2006.03.14 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 菅野恒;三由裕一;足立一繁 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 韩登营 |
| 主权项 | 1.一种芯片保持器，其包括：具有第1贯通孔的保持器下板、和具有第2贯通孔的保持器上板，其特征在于，被处理物以可动状态保持在将上述保持器下板和上述保持器上板组合时由上述第1贯通孔和上述第2贯通孔形成的保持空间中。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||