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发明名称 EVAPORATION SOURCE AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060099974(A) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 KR20050021542 申请日期 2005.03.15
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 AHN, JAE HONG;CHO, WON SEOK;LEE, SUNG HO;FURUNO KAZUO
分类号 C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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