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发明名称
SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR100625522(B1)
申请公布日期
2006.09.20
申请号
KR20000010050
申请日期
2000.02.29
申请人
发明人
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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