一种碳纳米管阵列生长装置及多壁碳纳米管阵列的生长方法

摘要

一种碳纳米管阵列生长装置，其包括一反应炉，该反应炉包括一进气口和一出气口；一石英舟设置于反应炉内；一生长碳纳米管用的基底设置于石英舟内，该基底一表面形成有一第一催化剂层，其中石英舟内进一步包括一第二催化剂粉末，该第二催化剂粉末靠近基底设置，且设置于沿反应气体流动方向基底位置的前方。一种多壁碳纳米管阵列的生长方法，其包括以下步骤：提供一基底，该基底的一表面沉积有一第一催化剂层；将上述基底设置于一石英舟内；设置一第二催化剂粉末于石英舟内，该第二催化剂粉末靠近基底设置，且设置于沿气体流动方向基底位置的前方；将上述石英舟置于一反应炉内；加热达到预定温度并通入碳源气以在基底上生长多壁碳纳米管阵列。

主权项

1.一种碳纳米管阵列生长装置，其包括：一反应炉，该反应炉包括一进气口和一出气口；一石英舟设置于反应炉内；一生长碳纳米管用的基底设置于石英舟内，该基底一表面形成有一第一催化剂层，其特征在于石英舟进一步包括一第二催化剂粉末，该第二催化剂粉末靠近基底设置，且设置于沿反应气体流动方向基底位置的前方。