用于金属有机化学气相沉积系统中的加热装置

摘要

本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积系统中的加热装置，它包括衬底、石墨舟、感应圈和托架，特征是石墨舟由扁平圆柱体和圆筒体构成，圆筒体加工在扁平圆柱体的底部。在圆筒体的底部中间加工有用于插入测温头的内凹槽。本发明由于在传统的扁平圆柱体形状的石墨舟底部加工有一圆筒体，当感应圈通电工作时，石墨舟下部的圆筒体处在场强最高的区域，会吸收更多的电磁能而产生更多的热量，热量会向上传导使石墨舟的中心区域得到热量的补充，从而达到整个石墨舟上表面的温度均匀。当工作温度在600℃以上时，本发明可将衬底温度控制在2℃以内。本发明具有能够提高石墨舟的温度均匀性从而进一步提高材料生长的均匀性、结构简单的优点。

主权项

1、一种用于金属有机化学气相沉积系统中的加热装置，包括石墨舟(1)、感应圈(2)衬底(5)、和托架(8)，石墨舟(1)放置在托架(8)上，空心的感应圈(2)水平放置于托架(8)下，在感应圈(2)内通有冷却水，其特征在于：石墨舟(1)由扁平圆柱体(3)和圆筒体(4)构成，与扁平圆柱体(3)垂直的圆筒体(4)加工在扁平圆柱体(3)的底部中央。