发明名称 ELECTROSTATIC WAFER CLAMP HAVING LOW PARTICULATE CONTAMINATION OF WAFERS
摘要
申请公布号 KR100625712(B1) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 KR20007011266 申请日期 2000.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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