| 发明名称 | 处理室内部件、处理室内部件的清洁方法及等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 形成包覆膜的包覆剂(51)由环化橡胶-双叠氮化物等主要成分和感光剂组成的抗蚀剂构成，通过将从处理室(22)内取出的处理室内部件(50)浸渍在丙酮等剥离液中，可在剥离附着的包覆膜的同时，从处理室内部件(50)上分离堆积在处理室内部件(50)上形成的包覆剂(51)的包覆膜上的堆积物(52)。 | ||
| 申请公布号 | CN1276478C | 申请公布日期 | 2006.09.20 |
| 申请号 | CN02809527.8 | 申请日期 | 2002.04.03 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 长山将之;三桥康至;中山博之 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01) | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种处理室内部件，配置于进行等离子体处理的处理室内部，其特征在于：具有由除去了感光剂成分的抗蚀剂构成的包覆膜，该包覆膜附着有因所述等离子体处理造成的反应副生成物，并且在剥离液中从上述处理室内部件上剥离。 | ||
| 地址 | 日本国东京都港区赤坂五丁目3番6号 | ||