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发明名称 A METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM USING ALD
摘要
申请公布号 KR20060100161(A) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 KR20050021876 申请日期 2005.03.16
申请人 INTEGRATED PROCESS SYSTEMS LTD. 发明人 LIM, HONG JOO;LEE, SAHNG KYU;SEO, TAE WOOK;CHANG, HO SEUNG
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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