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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100625928(B1) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 KR19990053714 申请日期 1999.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/30;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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